Kaskádový zdroj plazmového oblouku - Cascaded Arc Plasma Source
Kaskádovitě oblouk je stěna stabilizované termální elektrickým obloukem výboj, který produkuje vysokou hustotu, nízkoteplotní plazmy .
Všeobecné
Kaskádový zdroj oblouku vyvinutý na Eindhoven University of Technology je zobrazen na obrázku níže. Ve srovnání se zdroji plazmy v jiných lineárních generátorech plazmy může tento zdroj produkovat argonová a vodíková plazma o vysoké hustotě (10 21 - 10 24 a 10 19 - 10 22 m -3 ) při relativně nízké teplotě elektronů (~ 1 eV). Vzhledem k vysoké frekvenci srážek částic ve zdroji je plazma v tepelné rovnováze a přiměřeně homogenní.
Kaskádový oblouk se skládá ze vstupu plynu, tří wolframových katod, kaskádových desek, trysky a anody. Prostřednictvím vstupu plynu může pracovní plyn - argon nebo vodík - proudit do katodové komory. Zdroj je typicky běží na 0,5-3,0 slm ( 2,2 x 10 20 - 1,3 x 10 20 částic za sekundu) a vybíjecí proud 100-300 A. kaskádovitě misky v mezi katodou a anodou jsou elektricky izolovány od sebe Desky z nitridu boru o tloušťce 1 mm . Napětí z těchto desek je plovoucí potenciál. Tryska i anoda jsou uzemněny.
Viz také
externí odkazy
- Svítící výbojová jednotka
- VYSOKÝ JAS H-POVRCHOVÉ PLAZMOVÉ ZDROJE
- Produkce H v čistých vodíkových výbojích zdrojů povrchové plazmy