Plazmové zpracování - Plasma processing
Plazmové zpracování je technologie zpracování materiálu na bázi plazmy , jejímž cílem je úprava chemických a fyzikálních vlastností povrchu.
Mezi techniky zpracování plazmy patří:
- Aktivace plazmy
- Plazmové spalování
- Plazmové čištění
- Plazmová elektrolytická oxidace
- Plazmové leptání
- Plazmová funkcionalizace
- Plazmová polymerace
- Corona léčba
- Plazmová modifikace
Související témata jsou chemie plazmy , chemická depozice z par a fyzikální depozice z par, jako je depozice naprašováním , plazmové iondopování, vakuové plazmové stříkání a leptání reaktivních iontů .